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场镜、远心透镜

一般来说,打标系统中激光束穿过聚焦透镜系统后会产生离轴偏转现象, 相对理想的平面而言,会在打标面上出现异常图像或畸变。平场聚焦镜,也称场镜、f-theta聚焦镜,是一种专业的透镜系统,目的是将激光束在整个打标平面内形成均匀大小的聚焦光斑,是激光打标机的最重要配件之一。场镜可分为f-theta透镜和远心透镜。由于远心透镜的成本和费用很高,在工业应用的激光打标机中主要使用F-theta透镜。在没有变形的情况下,聚焦点的位置取决于透镜的焦距以及偏转角的切线,聚焦点的位置仅取决于焦距和偏转角,这样就简化了焦点定位的计算方法。

选用场镜,主要考虑的技术参数是工作波长、入射光瞳、扫描范围和聚焦光斑直径。

*  工作波长:主要是看激光器的波长,场镜是在给定的激光波长镀膜的。如果不在给定的波长范围内用场镜,场镜会被激光烧坏的。

*  入射光瞳:如使用的是单片镜,反射镜置于入射光瞳的地方,最大可用光束的直径等于入射光瞳的直径。

*  扫描范围:场镜能扫描到的范围越大,当然越受使用者的欢迎。但是如果增加扫描范围,聚焦光点变大,失真度也要加大。另外加大扫描范围,场镜焦距和工作距也要加大。工作距离的加长,必然导致激光能量的损耗。还有聚焦后的光斑直径跟焦距成正比,这意味着加大扫描范围,聚焦光斑直径跟着加大,光斑聚得不够细,激光的功率密度下降非常快(功率密度跟光斑直径的2次方成反比),不利于加工。所以使用者要根据不同的加工面积选用最适合的场镜,或者备用几个不同扫描范围的场镜。

*  聚焦光斑直径:对于入射激光束直径D、场镜焦距F和光束质量因子Q的扫描系统,聚焦光斑直径d = 13.5QF/D (mm)。所以用扩束镜可以得到更小的聚焦光斑。

1. Nd:YAG激光波长场镜(1064nm, 532nm, 355nm, 266nm波长)

(1) 1064nm激光场镜

STS系列标准场镜,1064nm激光波长 (光学玻璃材料)

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-0063/126

63.03

23.80

36x36

8.00

59.20

M39x1或M55x1

74.54

STS-0101/126

100.12

22.00

55x55

10.00

90.00

M85x1

111.98

STS-0162/126

159.97

24.80

100x100

8.00

59.20

M39x1或M55x1

179.93

STS-0163/126

162.41

26.80

107x107

12.00

89.00

M85x1

181.08

STS-3163/126

163.00

31.80

120x120

15.00

103.00

M85x1

186.61

STS-2163/126

163.00

27.80

106x106

20.00

128.00

M85x1

192.66

STS-0191/126

191.87

26.80

125x125

20.00

128.00

3.875“x32

220.88

STS-0202/126

201.58

19.00

90x90

30.00

132.00

M85x1

243.05

STS-3254/126

253.94

19.20

115x115

30.00

130.00

M85x1

297.18

STS-4255/126

254.00

27.20

168x168

20.00

130.00

M85x1

292.70

STS-1254/126

254.38

25.60

160x160

12.00

109.00

M85x1

306.26

STS-0300/126

300.02

25.00

175x175

20.00

128.00

M85x1

353.09

STS-0350/126

346.26

25.20

212x212

12.00

95.00

M85x1

412.17

STS-0351/126

354.10

19.60

160x160

30.00

128.00

3.875“x32

396.25

STS-0411/126

409.86

21.00

210x210

20.00

105.00

M85x1

472.77

STS-0420/126

419.98

23.60

242x242

30.00

136.00

M132x1

480.14

STS-0508/126

566.34

23.20

325x325

20.00

127.00

M85x1

647.59

STS-0635/126

653.81

22.60

370x370

25.00

133.00

M110x1

728.99

STS-0825/126

815.01

27.20

560x560

24.00

130.00

M102x1

888.52

 STS系列标准场镜,1064nm激光波长 (石英玻璃材料)

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-2175/126

163.35

25.00

94x94

20.00

150.00

M85x1

205.47

STS-3260/126

277.11

21.40

142x142

15.00

105.00

M85x1

346.07

STS-1330/126

340.00

24.40

215x215

20.00

163.00

M85x1

204.04

STS-1500/126

499.97

27.40

340x340

20.00

148.00

M85x1

571.26

STS系列低吸收场镜,1064nm激光波长 (石英玻璃材料)

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-2175/328

163.35

25.00

94x94

20.00

150.00

M85x1

205.47

STS-3260/328

277.11

21.40

142x142

15.00

105.00

M85x1

346.07

STS-1330/328

340.00

24.40

215x215

20.00

163.00

M85x1

204.04

STS-1500/328

499.97

27.40

340x340

20.00

148.00

M85x1

571.26

STS系列场镜,1064nm激光波长 (超短脉冲激光器专用)

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-7163

163.03

24.40

95x95

10.00

89.00

M85x1

197.07

STS系列远心场镜,1064nm激光波长

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-0058/126

56.55

11.80

16x16

10.00

90.00

M85x1

58.43

STS-0055/126

59.69

13.60

19x19

14.00

90.00

M85x1

66.55

STS-0080/126

79.89

21.50

39x39

25.00

107.00

M85x1

79.45

STS-6125/126

99.25

17.60

40x40

25.00

116.00

M85x1

114.89

STS-5100/126

107.74

26.80

69x69

12.00

128.00

M85x1

137.86

STS-5365/126

162.90

19.00

73x73

20.00

154.00

M85x1

194.83

STS-5165/126

163.57

19.00

75x75

10.00

136.00

M85x1

193.54

STS-0220/126

206.71

28.40

139x139

14.00

281.00

TK267.0

289.49

STS-0221/126

206.71

28.40

139x139

14.00

281.00

TK267.0

274.53

(2) 532nm激光场镜

STS系列标准场镜,532nm激光波长(石英玻璃材料)

产品型号

标准产品

532nm

产品型号

低吸收

515-545nm

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-3100/121

STS-3100/292

112.8

26.6

74x74

5.0

89.0

M85x1

151.5

STS-3260/121

STS-3260/292

259.9

25.8

162x162

10.0

105.0

M85x1

325.4

STS-1330/121

STS-1330/292

347.9

24.0

212x212

14.0

122.0

M85x1

279.0

STS系列标准场镜,532nm激光波长(光学玻璃材料)

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-0063/121

62.9

19.6

30x30

7.0

59.2

M39/M55

76.0

STS-0101/121

89.7

25.4

58x58

6.0

90.0

M85x1

97.0

STS-0163/121

148.0

21.4

77x77

7.0

89.0

M85x1

162.7

STS-2163/121

148.3

31.2

114x114

10.0

128.0

M85x1

173.4

STS-0162/121

162.1

23.0

100x100

7.0

59.2

M39/M55

183.4

STS-3164/121

162.8

30.0

120x120

10.0

106.0

M85x1

186.5

STS-1254/121

233.5

26.0

148x148

10.0

109.0

M85x1

282.0

STS-0300/121

278.7

29.0

200x200

14.0

128.0

M85x1

326.4

STS-0508/121

520.5

25.2

330x330

16.0

127.0

M85x1

594.7

STS-0825/121

768.6

28.0

552x552

16.0

130.0

M102x1

839.2

STS系列远心场镜,532nm激光波长(石英玻璃材料)

产品型号

标准产品

532nm

产品型号

低吸收

515-545nm

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-4031/121

STS-4031/292

32.2

4.0

6x6

10.0

90.0

M85x1

28.4

STS-3046/121

STS-3046/292

48.1

7.6

7x7

15.0

90.0

M85x1

60.2

STS-3050/121

STS-3050/292

58.5

14.8

20x20

6.0

87.0

M85x1

79.3

STS-4010/121

STS-4010/292

100.0

14.0

35x35

10.0

106.0

M85x1

130.7

STS-3161/121

STS-3161/292*

163.9

21.0

90x90

10.0

122.0

M85x1

219.0

STS系列远心场镜,532nm激光波长(光学玻璃材料)

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-0058/121

53.1

11.8

15x15

6.0

90.0

M85X1

52.6

STS-0055/121

59.3

14.0

20x20

10.0

90.0

M85X1

73.2

STS-0080/121

77.0

26.6

49x49

14.0

107.0

M85X1

74.2

STS-1094/121

88.0

17.4

36x36

16.0

83.0

70.00

107.3

STS-5100/121

100.1

29.2

69x69

10.0

128.0

M85X1

127.7

STS-5165/121

162.7

19.6

75x75

10.0

136.0

M85X1

194.6

STS-0141/121

171.0

11.9

50x50

10.0

108.0

M85X1

198.4

STS-0200/121

198.5

15.6

75x75

20.0

142.0

TK133.0

231.9

STS-0220/121

201.5

29.2

139x139

10.0

265.0

TK267.0

280.5

STS-0221/121

201.5

29.2

139x139

10.0

281.0

TK267.0

265.9

(3)355nm激光波长场镜

STY系列场镜,355nm波长

型号

焦距

mm

工作距

mm

打标面积mm

圆形/方形

扫描角

θmax

入射光

直径

mm

弥散斑

直径

μm

D1

mm

D2

mm

螺纹接头

保护片直径mm

STY-355-70-100

100

122

Φ100/70×70

±25o

8

12

33

90

M85×1

Φ75

STY-355-110-160

160

185

Φ155/110×110

±25o

8

15

33

90

M85×1

Φ75

STY-355-110-160-B

160

187

Φ155/110×110

±25o

8

15

33

90

M85×1

Φ75

STS系列标准场镜, 355nm波长,石英玻璃材料

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-3100/075

108.34

28.40

76x76

6.00

89

M85x1

145.95

STS-3160/075

173.90

25.00

109x109

6.00

89

M85x1

218.40

STS-3260/075

250.26

25.40

155x155

10.00

105

M85x1

309.62

STS-0257/075

269.29

19.00

130x130

4.00

900

M85x1

276.08

STS-1330/075

328.18

25.20

212x212

14.00

1220

M85x1

260.21

STS-0580/075

580.80

22.00

320x320

10.00

890

M85x1

671.66

STS-0815/075

831.05

21.40

440x440

14.00

900

M85x1

983.23

STS-0920/075

919.21

20.80

470x470

14.00

89

M85x1

1032.00

STS系列远心场镜, 355nm波长,石英玻璃材料

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-4031/075

32.04

8.00

6x6

10.00

90

M85x1

28.99

STS-3050/075

56.01

15.20

20x20

6.00

87

M85x1

75.89

STS-4110/075

109.38

24.20

63x63

6.00

121

M85x1

154.57

STS-4160/075

167.22

15.60

64x64

10.00

121

M85x1

264.36

STS-5256/075

256.82

14.60

86x86

6.00

138

M85x1

145.16

STY系列场镜,355nm波长

型号

焦距

mm

扫描角

θmax

打标面积(mm)

入射光直径(mm)

平均光斑(um)

外形长度(mm)

工作距(mm)

STY-355-60-100-W

100.0

25°

60x60

6.0

15.5

56.0

130.5

STY-355-76-108-W

108.3

28.4°

76x76

6.0

-

49.0

146.0

STY-355-109-174-W

173.9

25°

109x109

6.0

-

36.8

218.4

STY-355-112-160-W

160.0

20°

112x112

7.0

13.5

50.0

177.79

STY-355-112-160Q-W

160.0

29°

112x112

6.0

18

50.36

206.6

STY-355-155-250-W

250.3

25.4°

155x155

10.0

-

61.0

309.6

STY-355-160-254-W

254.0

25°

160x160

12.0

22.0

55.0

311.0

STY-355-130-269-W

269.3

19.0°

130x130

4.0

-

47.0

276.1

STY-355-180-290-W

290.0

25.5°

180x180

20.0

40.0

65.0

332.5

STY-355-250-410-W

410.0

25°

250x250

10.0

7.0

46.8

488.2

STY-355-320-580-W

580.0

22°

320x320

10.0

27.0

38.0

668.0

STY-355-350-580-W

580.0

25°

350x350

15.0

24.0

46.0

689.0

STY-355-500-810-W

810.0

28°

500x500

24.0

55.0

57.0

880.0

STY-355-440-831-W

831.1

21.4°

440x440

14.0

-

62.5

983.2

STY-355-470-912-W

919.2

20.8°

470x470

14.0

-

40.0

1032.0

(4) 266nm激光波长场镜

STS系列标准场镜, 266nm波长,石英玻璃材料

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-3100/199

101.49

29.20

73x73

5.00

89.00

M85x1

136.52

STS-3160/199

162.31

25.00

105x105

5.00

89.00

M85x1

204.47

STS-0256/199

249.50

24.20

148x148

4.00

90.00

M85x1

254.00

STS系列远心场镜, 266nm波长,石英玻璃材料

产品型号

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mmxmm)

最大入射光斑

(mm)

外径

(mm)

连接

工作距

(mm)

STS-3050/199

53.46

16.00

20x20

6.00

87

M85x1

71.70

STS-4105/199

99.30

21.00

50x50

5.00

121

M85x1

142.17

STS-4162/199

159.78

16.20

64x64

10.00

121

M85x1

253.67

STY系列场镜,266nm波长

型号

焦距

mm

扫描角

θmax

打标面积(mm)

入射光直径(mm)

平均光斑(um)

外形长度(mm)

工作距(mm)

STY-266-70-100-WT

100.0

28°

70x70

5.0

8.0

49.0

137.0

STY-266-73-101-WT

101.5

29.2°

73x73

5.0

-

49.0

136.5

STY-266-110-160-WT

160.0

28°

110x110

5.0

10.0

36.7

200.0

STY-266-105-162-WT

162.3

25°

105x105

5.0

-

36.8

204.5

STY-266-112-250-WT

249.5

18°

112x112

4.0

-

47.0

253.6

STY-266-90-254-WT

254.0

18°

90x90

4.0

16.0

47.0

25.0

 

2. CO2激光扫描聚焦镜

STSL系列ZnSe单片CO2激光扫描聚焦镜片

*   工作激光波长: 10.6um

*   材料: 硒化锌ZnSe

*   镜片直径:48mm

*   镜片边缘厚度:3mm

*   最大入射光束直径: f15mm 

型号

焦距(mm)

扫描范围(mmxmm)

后焦距(mm)

边焦距(mm)

平均聚焦光斑直径(mm)

STSL-10.6-50-75

75.2

50 x 50

74.2

78.4

171

STSL-10.6-60-90

90.1

60 x 60

90.0

94.8

174

STSL-10.6-70-101

101.3

70 x 70

101.4

106.1

181

STSL-10.6-105-149

149.1

105 x 105

150.6

155.6

219

STSL-10.6-120-175

175.0

120 x 120

177.4

178.4

243

STSL-10.6-125-179

179.2

125 x 125

181.9

187.3

247

STSL-10.6-140-201

200.6

140 x 140

203.5

208.8

269

STSL-10.6-155-226

225.5

155 x 155

228.0

232.8

296

STSL-10.6-175-249

249.4

175 x 175

253.3

258.5

320

STSL-10.6-210-298

298.0

210 x 210

302.6

307.7

373

STSL-10.6-250-363

362.6

250 x 250

368.2

373.2

445

STSL-10.6-280-394

394.4

280 x 280

401.4

406.7

481

STSL-10.6-300-433

432.7

300 x 300

441.0

446.2

525

STSL-10.6-340-482

481.8

340 x 340

490.2

495.3

581

STSL-10.6-370-529

528.8

370 x 370

538.5

543.5

634

STSL-10.6-415-592

591.7

415 x 415

586.5

589.9

717

STSL-10.6-500-717

716.5

500 x 500

730.0

734.7

850

STSL-10.6-550-782

781.6

550 x 550

797.7

802.2

925

STSL-10.6-600-848

848.4

600 x 600

859.6

863.7

1000

STSL-10.6-680-978

977.6

680 x 680

993.7

997.9

1150

STSL-10.6-840-1183

1183

840 x 840

1205

1208

1390

STSL-10.6-850-1201

1201

850 x 850

1216

1220

1410

STSL-10.6-920-1285

1285

920 x 920

1317

1321

1520

STSL-10.6-1000-1409

1409

1000 x 1000

1421

1425

1650

STSL-10.6-1120-1577

1577

1120 x 1120

1593

1596

1840

STSL-10.6-1256-1746

1746

1256 x 1256

1783

1787

2040

STSL-10.6-1500-2122

2122

1500 x 1500

2173

2177

2420

注:扫描范围是基于+/-20度扫描角计算的。

3. 其它激光波长扫描聚焦镜

(1) STS系列二极管激光扫描聚焦镜,808nm/940nm波长

 

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mm)

入射光斑

(mm)

光斑直径

(mm)

工作距

(mm)

STS-0075/094

75

10°

12×12

10

8

95

STS-0101/094

100

25°

60×60

12

12

110

STS-0163/094

163

25°

100×100

12

18

180

STS-0400/094

400

23°

220×220

15

25

497

STS-0055/094

55

13°

16×16

16

4

71.5

STS-2163/094

163

25°

100×100

20

12

195

STS-0300/094

300

28°

212×212

20

20

350

STS-0825/094

810

28°

500×500

24

55

880

STS-0080/094

80

23°

45×45

25

10

79

(2) ST-S4系列其它波长激光扫描聚焦镜

 

波长

(nm)

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mm)

入射光斑

(mm)

光斑直径

(mm)

工作距

(mm)

STS-4056/198

193

56

18.8

7

15

 

71.36

STS-4057/198

193

66.24

19.2

7

15

 

83.78

STS-0256/072

308

254

18°

166

4

21

261

STS-3100/072

308

100

28°

100

5

10

140

STS-3160/072

308

160

810

28°

165

5

12

210

STS-0815/072

308

810

22°

600

10

30

950

STS-0508/087

488

508

26°

470

25

22

581

STS-0155/123

633

155

18°

97

10

13

195

STS-0290/070

780

296

25°

252

10

30

346

STS-0555/070

780

508

26°

470

25

22

581

STS-0400/070

820

401

23°

320

15

25

497

STS-3100/008

1550

100.1

22.0

55x55

10.0

 

112.0

STS-2250/008

1550

277.1

21.4

142x142

15.0

 

346.1

STS-5163/008

1550

163.1

18.8

73x73

15.0

 

155.4

注:可根据用户要求定制不同的激光扫描聚焦镜。

4. 双波长激光场镜(扫描聚焦镜)

532 nm + 1064 nm – 激光场镜,光学玻璃

 

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mm)

入射光斑

532/1064nm, (mm)

外径

(mm)

工作距

(mm)

STS-1163/081

163.0

24.6

102x102

12/16

106.0

159.3

STS-8254/081

254.1

29.0

180x180

15/15

128.0

211.6

808 nm - 980 nm –激光场镜,光学玻璃

  

 

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mm)

入射光斑

808/980nm, (mm)

外径

(mm)

工作距

(mm)

STS-8163

162.9

26.4

102x102

20.0 / 20.0

106.0

153.6

450 nm - 650 nm – 远心场镜,光学玻璃

 

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mm)

入射光斑

450/650nm, (mm)

外径

(mm)

工作距

(mm)

STS-0061/065

60.5

15.0

22x22

5.0

59.0

75.6

STS-4375

80.0

11.0

14x14

6.0

59.0

22.5

355 nm + 1064 nm –远心场镜,光学玻璃

 

焦距

(mm)

扫描角

(±°)

扫描范围

(mm)

入射光斑

355/1064nm, (mm)

外径

(mm)

工作距

(mm)

STS-7400

398.6

7.1

70x70

15.0 / 25.0

132.0

160.7