两轴激光打标头/扫描振镜

我们提供两轴激光扫描振镜/打标头，适用于各种不同的应用。两轴扫描振镜可以在X和Y方向上偏转激光束，产生一个二维区域，引导激光射向其中的任何位置。这个区域被称为打标范围，如图中所示。偏转是由两块镜片执行，其中每块由振镜电机移动。扫描振镜有一个光束输入端  ，激光束从此端输入，还有一个光束输出端，激光束偏转后从此端射出。

两轴扫描打标头主要产品表

STRL-RL-III系列扫描振镜

• 坚固、紧凑和轻便

• 基于最新伺服电子技术的低噪声和低漂移

• 非常快的打标速度

• 优异的性价比

• 输入孔径: 10mm、14mm

优势：新的RL-III有非常高的打标和定位速度并且有高性价比。由于其低噪声和漂移值及其坚固性，使得该系统非常适合在工业生产环境中使用。

可选配置：透镜、保护玻璃适用于多种标准激光器种类，波长1064 nm和10600 nm，功率密度，焦距和加工区域。这使得多种加工任务得以获得高质量和优化产量。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。

典型应用：针对动态打标任务，特别是飞行打标。由于新开发的具有强大的PWM输出级的控制，速度和动态响应得到了保证。

创新和品质：创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压+/-15  V 至 +/-18 V；电流2 A, RMS最大 10 A；纹波/噪音最大 200  mVpp,@ 20 MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤ 80 % 无结露

• 外壳防护等级：IP  54

• 接口信号：数字XY2-100  协议

• 典型光学偏转角：±  0.393 rad

• 分辨率：  XY2-100 16-Bit 12 μrad

• 重复定位精度  (RMS)： < 2.0 μrad

• 温度漂移：最大增益漂 ¹ 15 ppm/K；最大位置漂移 ¹ 10 μrad/K

• 8h长期漂移 ¹ < 150 μrad

备注：1 = 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。

10mm通光口径扫描振镜的技术参数

• 扫描振镜：RL-III-10

• 输入孔径 (mm)：10

• 光束位移 (mm)：12.4

• 重量（无透镜）(kg)：大约 0.9

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：100.0 x 77.0 x 83

• 适用激光波长：1064  (nm) SI；10600 (nm) SI

• 打标调校 (MA)：针对打标应用的优化调校

• 字高/好打标质量下的打标速度  (cps) 1, 2：650 / 850

• 打标速度 (rad/s)：30

• 定位速度 (rad/s)3：85

• 追迹误差 (ms) 4  ：0.14

• 1%全行程阶跃响应时间 (ms)  5：0.40

备注：1.  F-Theta透镜F = 163 mm/幅面尺寸120 mm  x 120 mm。 2. 1 mm高的单线字。3. 速度计算：幅面速度 = F-Theta透镜焦距 × 定位速度。4. 计算加速时间约为2.3 × 追迹误差。5 设置为全行程的1/5000。

14mm通光口径扫描振镜的技术参数

• 扫描振镜：STRL-RL-III-14

• 输入孔径 (mm)：14

• 光束位移 (mm)：17.0

• 重量 (无透镜) (kg)：约 2.0

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：134.0 x 98.0 x 100.3

• 适合激光波长：1064nm硅镜，10600nm硅镜

• 打标调校 (MA)：针对打标应用的优化调校

• 字高/一般字符质量的打标速度  (cps) 1, 2：500 / 650

• 加工速度 (rad/s)：30

• 定位速度 (rad/s)  3：60

• 追迹误差 (ms) 4：0.18

• 1%全行程阶跃响应时间 (ms)  5：0.45

备注：1..用F-Theta透镜 f = 163 mm / 幅面尺寸 120 mm x 120 mm 2. 1 mm高的单线字。3. 速度计算：幅面速度 = F-Theta透镜焦距 × 定位速度。4. 计算加速时间约为1.9 × 追迹误差。5. 稳定于全行程的1/1000。

STRL-MiniScann II扫描振镜

• 漂移极低

• 紧凑设计

• 坚固、防尘、适用于工业环境

• 对外界温度不敏感

• 可选输入孔径 7、10、14、20mm

优势：新一代 MINISCAN II 设计紧凑，温度漂移经过特别优化，降低 50%。完全防尘设计的外壳使 MINISCAN II 特别适合于恶劣工业环境下工作。

创新与品质：在RAYLASE, 创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

反射镜与物镜：反射镜和拥有优化镜座的物镜适用于几乎所有的典型激光器、波长、功率密度、焦距和工作幅面。也可以按照客户特殊要求定制。

接口：振镜兼容 XY2-100 标准。可以通过如 SP-ICE-1 PCI PRO 控制卡进行数字控制，或通过模拟电压 / 电流接口进行模拟控制。

典型应用：材料加工，如打标、钻孔、切割、焊接、硬化、成型。

选项：可提供相机适配器用于加工监控。

• 电源：电压：±15至±18V；电流：2 A, RMS,最大  10 A；纹波/噪音：20 MHz 带宽时最大200 mVpp

• 接口信号：模拟：±5  V, ±10 V；数字：XY2-100 协议

• 环境温度：+15 °C 至 +35 °C

• 存储温度：-10 °C 至 +60 °C

• 湿度：≤ 80 % 无结露

• 典型偏转角(光学)：±0,393 rad

• 分辨率：12  μrad

• 重复定位精度(RMS)：2 μrad

• 最大增益漂移¹：15 ppm/K

• 最大位置漂移¹：10 μrad/K

• 长期漂移¹,²：<150 μrad

备注：1 每轴的漂移。 2  预热之后，环境温度的波动 <1K。

备注：1. F-Theta透镜 f=163mm/幅面 120x120 mm。 2. 高 1  mm 单线字。

STRL-MiniScann III扫描振镜

• 通过SL2-100 20bit协议或XY2-100 16bit协议控制

• 数字控制、低噪音和低漂移

• 坚固，防尘，适用于工业环境

• 多种镜片基材和镀膜，特别是针对打标和激光清洗

• 可选输入孔径:  10mm、14mm和20mm

优势:新的MINISCAN III提供非常稳定的数字控制，进一步改善噪音和漂移值，从而使系统更加可靠和稳定。XY2-100 16位和SL2-100 20位协议可以与数字接口一起使用。相应的线缆定义使用的协议。

可选配置:透镜，保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类，波长，功率密度，焦距和工作幅面。这使多种加工应用得以获得最优化质量和加工效率。我们乐于为您提供最适合您应用的定制化配置。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。

典型应用:适合大部分应用，尤其针对高速烧蚀、表面清洗以及高要求的打标任务。数字控制和强大的pwm输出级保证了速度和动态响应。您还可以选择将MINISCAN III与我们的相机适配器和机器视觉控制组件结合起来进行过程监控。

创新与品质:创新与保持产品的高品质是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压：+30 或 +48V；电流：2A, RMS；最大  5A

• 纹波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤80% 无结露

• 外壳防护等级：IP  64

• 接口信号：数字XY2-100  增强协议；SL2-100 协议

• 典型偏转角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重复定位精度  (RMS)：< 2.0 μrad

• 定位噪声 (RMS)：< 4.5 μrad

• 温度漂移：最大增益漂移1 15 ppm/K；最大位置漂移1 10 μrad/K

• 8h长期漂移1 <  80μrad

备注：1 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。

10mm通光孔径的技术参数

备注：1. 用F-Theta透镜 f = 163 mm / 幅面尺寸 120 mm x 120 mm。 2. 1 mm高的单线字。 3. 参考“速度计算”。4. 计算加速时间约为1.8 × 追迹误差。5. 设置为全行程的1/1,000。 6. 适合的激光波/355、532、1064、1070和10600nm。7. QU=石英,  SC=碳化硅, SI=硅。8. 调校分为快速向量调校(VC) （针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度）、打标调校 (MA) （针对打标应用的优化调校）、清洗调校 (C) （针对长矢量在最高速扫描时的优化调校）三种。9. 速度计算：幅面速度 = F-Theta透镜焦距 × 定位速度。

14mm通光孔径的技术参数

备注：1. F-Theta透镜f=163mm/幅面120 mm x 120 mm。 2. 1 mm 单线字。 3. 参考“速度计算” 4. 计算加速时间约为2.3 × 追迹误差。5. 计算加速时间约为1.9 × 追迹误差。 6. 计算加速时间约为2.0 × 追迹误差。 7. 设置为全行程的1/5,000。 8. 设置为全行程的1/1000。9. 适合的激光波长355、532、1064和1070nm。

20mm通光孔径的技术参数

备注：1. 参考“速度计算”。 2. 加速时间约为2.3× 追迹误差。3.  设置为全行程的1/5000。4. 适合激光波长1,064nm、900–1100 nm+AL、10600nm、515-540nm、1060-1090  nm+AL。

STRL-SS-IIE系列扫描振镜

• 双层壳式设计，极低漂移

• 适合高功率应用

• 可选配水冷和空气冷却

• “增强“ 选项改善50%的长期漂移

• 可选输入孔径: 7、10、12、15、20、30mm

优势：创新的热管理和模块化设计使SUPERSCAN IIE成为满足苛刻激光加工要求的极佳选择。“增强”选项可以提高50%的长期稳定性。还能够通过额外水冷进一步减小长期漂移。

反射镜与物镜：反射镜和拥有优化镜座的物镜适用于几乎所有的典型激光器、波长、功率密度、焦距和工作幅面。也可以按照客户特殊要求定制。

接口：振镜兼容XY2-100标准。可以通过如SP-ICE-1 PCIe PRO控制卡进行数字控制。

典型应用：材料处理如刻蚀、打标、去除、切割、焊接、打孔或高速飞行打标。水冷版本特别适合要求非常精细、极低误差的应用，例如微加工、钻孔、ITO成型或银浆刻蚀。

创新与品质：创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数：

• 电源：电压± 15  V 至 ± 18 V；电流3 A, RMS, 最大 10 A；纹波/噪音最大 200  mVpp,@ 20 MHz 带宽

• 接口信号：数字XY2-100  协议

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 存储温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤ 80 % 无结露

• 温度漂移：最大增益漂移 ¹ < 15 ppm/K；最大位置漂移 ¹ < 10 μrad/K

• 典型偏转角(光学)： ± 0.393 rad

• 光学分辨率：12 μrad

• 重复定位精度(RMS)： 2 μrad

• 8小时长期漂移 ¹, ² ：< 150  μrad

• 8小时长期漂移，有水冷 ¹, ³ ：< 100  μrad

• 定位噪声(RMS)： < 10 μrad

备注：1. 每轴的漂移。 2. 30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。 3. 30分钟预热后，保持冷却水≥2 l/min流量和22˚C水温时加工负荷变化。

备注：1. 熔石英反射镜的规格。 2. 仅配合AXIALSCAN使用，搭配带保护窗的输出板。

STR-SuperScan IV扫描振镜

• 通过20位SL2-100协议或16位XY2-100协议控制

• 得益于数字PWM输出级大幅降低了功耗和热能产生

• 快速动态响应和高速度促进生产效率

• 多种调试模式和镜片镀膜，适用于各种应用

• 适合输入孔径:10、15、20和30mm

优势:模组化数字控制技术提供了极强的动态响应和速度，在打标以及非常快速但是精准的成型、切割和钻孔等应用中真正发挥作用。坚固耐用的水冷外壳设计保证了即使在频繁改变光束方向和高跳转的情况下，也能保持稳定、低漂移的运行。坚固的水冷外壳设计，搭配石英反射镜，能够承受激光功率高达2kW（15mm通光孔径）、3kW（20mm通光孔径）、3kW（30mm通光孔径）。

可配置选项: 透镜、保护窗以及反射镜材质和镀膜适用于所有常见的激光器种类、波长、功率密度、焦距和工作幅面。这使多种加工应用得以获得最优化质量和加工效率。我们也乐于帮助您选择适合您应用的最优化配置。

典型应用:应用范围包括打码、FPC结构切割以及铜箔的切割钻孔。由于采用了数字控制和强大的PWM输出级，速度和动态响应得到了保证。当与我们的相机适配器和MVC组件相结合时，就成为了理想的过程精密监控工具。

创新与品质:创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压：+30 或 +48V；电流：2A, RMS；最大  5A

• 纹波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤80% 无结露

• 外壳防护等级：IP  64

• 接口信号：数字XY2-100  增强协议；SL2-100 协议

• 典型偏转角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重复定位精度  (RMS)：< 2.0 μrad

• 定位噪声 (RMS)：< 4.5 μrad

• 温度漂移：最大增益漂移1 15 ppm/K；最大位置漂移1 10 μrad/K

• 8小时长期漂移，无水冷 ¹ < 60 μrad

• 8小时长期漂移，有水冷 ¹, ² < 40 μrad

备注：1. 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。2. 30分钟预热后，保持冷却水≥ 2 l/min流量和22˚C水温时加工负荷变化。3.  适合激光波长355、532和1064nm。

10mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  IV

• 输入孔径(mm)：10

• 光束位移(mm)：12.5(SI)

• 重量(无透镜)(kg)：约3.2

• 尺寸(LxWxH)(mm)：170.0 x 125.0 x 117.5

备注：1. 参考“速度计算”。2. 稳定于全行程的1/5,000。 3. 计算加速时间约为1.9  × 追迹误差。4. 计算加速时间约为1.8 × 追迹误差。

15mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  IV

• 输入孔径(mm)：15

• 光束位移(mm)：18.1(QU，SI)，19.0（SC）

• 重量(无透镜)(kg)：约3.2

• 尺寸(LxWxH)(mm)：170.0 x 125.0 x 117.5

备注：1. 参考“速度计算”。 2. 设置为全行程的1/5,000。  3. 计算加速时间约为1.9 × 追迹误差。 4. 计算加速时间约为2.3 × 追迹误差。5. 调校分为快速向量调校 (VC) （针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度、清洗调校 (C) （针对长矢量在最高速扫描时的优化调校）、填充调校 (H) （针对填充，进行高精度光束偏转和最快的光束变向的优化调校）等三种。6. 适合波长355 nm QU、532 nm QU, SI、1,030 nm SC、1,064 nm QU, SI, SC、1,060 nm–1,080 nm (高功率镀膜) QU、10,600 nm SI, SC。这里QU=石英、SC=碳化硅、SI=硅等指反射镜片材料。

20mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  IV-20 QU

• 输入孔径(mm)：20

• 光束位移(mm)：25

• 重量(无透镜)(kg)：约5.5

• 尺寸(LxWxH)(mm)：203x159x150

备注：1. 参考“幅面内速度计算”。 2. 计算加速时间约为1.7 × 追迹误差。 3. 稳定于全行程的1/5,000。4.  适合激光波长355/532和1064nm。

30mm通光孔径的技术参数

• 扫描振镜：SUPERSCAN  IV

• 输入孔径 (mm)： 30

• 光束位移 (mm)： 36.0 (SI, SC), 35.4 (QU)

• 重量(无透镜) (kg) ：约 5.5

• 不锈钢外壳 (kg)：  约 12.0

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)： 203.0 x 159.0 x 150.0

备注：1. 参考“幅面内速度计算”。 2. 计算加速时间约为1.8 × 追迹误差。 3. 设置为全行程的1/5,000。4.  反射镜适用激光波长420 nm–480 nm QU、900  nm–1100 nm + AL QU, SC、1064 nm SI, SC, QU、1020 nm–1040 nm (高功率镀膜 > 3 kW) QU、1060 nm–1080 nm (高功率镀膜 > 3 kW) QU、10600 nm SI, SC。5. 调校分为快速向量调校 (VC) （针对常见应用进行的优化调校，注重加工速度）、快速向量调校 (FV) （结合高动态性能和高速的优化调校）两种。

STR-SuperScan V扫描振镜

• 激光束定位分辨率高达20bit，SL2-100协议

• 数字编码器技术带来的最小化温漂和极低噪声

• 极佳的加速和精确的激光引导带来锐利的边角效果

• 可记录和诊断全部特性

• 输入孔径 (mm):  15、30

全数字反馈控制，快速且精确

优势：全数字反馈控制电路提供了极佳的动态性能，并且可以连续监测如反射镜位置和速度等参数。取决于使用的协议(SL2-100或XY2-100)，反射镜能够以至多20bits的分辨率进行定位。得益于数字电机的高加速特性和最高速度，能够非常快而精准的实现锐利边缘图形的扫描。

可配置选项：透镜,轻质碳化硅以及石英反射镜适用于所有常见的激光器种类,波长,功率等级,焦距和工作幅面。电子控制系统也支持额外的控制参数设置(调校选项)。我们乐于为您提供最适合您应用的优化配置。

典型应用：该扫描振镜是各种要求最高精度的高端激光加工应用的理想选择。通过反射镜的数字反馈控制定位持续保证精度。特别是如标记,焊接,钻孔或半导体晶圆成型,医疗产品和安保文档,芯片IC卡等激光加工应用均受益于SUPERSCAN  V的速度和精度。SUPERSCAN V-30配合我们的数字Z轴LT模组LT-II组成的AXIALSCAN-30，特别适用于增材制造领域。

创新与品质：创新与保持产品的高品质水准是我们的首要目标。我们所有的产品是在自己的实验室和生产车间研发,制造和测试的。通过我们的全球支持网络，能够为客户提供最好的维护与快速支持服务。

通用技术参数

• 电源：电压：+30 或 +48V；电流：2A, RMS；最大  5A

• 纹波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 带宽

• 环境温度：+15°C 至 +35°C

• 储存温度：-10°C 至 +60°C

• 湿度：≤80% 无结露

• 外壳防护等级：IP  64

• 接口信号：数字XY2-100  增强协议；SL2-100 协议

• 典型偏转角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重复定位精度  (RMS)：< 0.4μrad

• 定位噪声 (RMS)：< 2.0μrad

• 温度漂移：最大增益漂移1 8 ppm/K；最大位置漂移1 15 μrad/K

• 8小时长期漂移，无水冷 ¹ < 50 μrad

• 8小时长期漂移，有水冷 ¹, ² < 30 μrad

备注：1. 光学角。每轴的漂移，30分钟预热后，环境温度和加工负荷稳定。2. 30分钟预热后，保持冷却水≥ 2 l/min流量和22˚C水温时加工负荷变化。

15mm通光口径的STRL-SuperScan  V扫描振镜

• 扫描振镜SUPERSCAN  V

• 输入孔径 (mm)  15

• 光束位移 (mm)  18.27 (SC), 18.33 (QU)

• 重量(不带透镜) (kg) 约 3.2

• 尺寸 (L x W  x H) (mm) 170.0 x 125.0 x 117.5

• 反射镜激光波长：355  nm SC, QU、405 nm QU、532 nm SC,  QU、1064 nm SC, QU、10600 nm SC、AG SC。

• 微加工调校：针对实现锐利拐角的高精度光束偏转和最小化追迹误差优化

备注: 1.  F-Theta透镜 f=163mm / 幅面 120mm × 120mm，高 1mm 单线字。 2.  参考”幅面内速度计算”。 3. 设为全行程的 1/5000

30mm通光口径的STRL-SuperScan V扫描振镜

• 扫描振镜SUPERSCAN  V

• 输入孔径 (mm)：30

• 光束位移 (mm)：35.7

• 重量(不带透镜) (kg)： 约5.5

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：203x159x150

• 反射镜激光波长：  1064 nm SC、10600 nm SC。

• 微加工调校 (M):  针对具有锐利拐角和最小追迹误差的高精度光束偏转进行的优化调校

动态参数：

• 扫描振镜：STRL-SUPERSCAN  V-30-SC

• 反射镜类型：SC

• 调校：微加工

• 加工速度 (rad/s)  ¹：25 @ 30 V；30 @ 48 V

• 定位速度 (rad/s)  ¹：25 @ 30 V；30 @ 48 V

• 追迹误差 (ms) ²: 0.25

• 1%全行程阶跃响应时间 (ms)  ³ :0.66

备注：1 参考“速度计算”。 2. 计算加速时间约为1.7 × 追迹误差。 3. 设为全行程的1/5000。